整体一体化新外观设计 ● X、Y、Z三轴伺服控制、定位精度高,运行平稳 ● X、Y向导轨采用高精度花岗石,性能稳定,不易变形 ● 操纵秆/鼠标操作、方便易用 ● 程控恒流驱动式四环四驱冷光表面光源,可适应复离的工件测量 ● 激光指示器指示测量位置,方便快速定位 ● Y向传动为定位导向,运行更平稳,精度更高 ● 行程大,测量范围更广 技术规格参数 机台结构 型号 VMS-0810H VMS-1012H VMS-1215H X/Y轴行程(mm) 800*1000 1000*1200 1200*1500 玻璃台尺寸(mm) 885*1158 1085*1358 1285*1858 外形尺寸(m) 2.17*2.38*1.56 2.37*2.58*1.56 2.57*2.88*1.56 整台重量(kg) 3260 3750 4520 Z轴运动行程 200mm X/Y轴较大速度 300mm/s 光学系统 变倍镜头 进口 倍率 0.7X~4.5X 光源 表面光源-LED表面环形光源 底光源-LED新型直线光源 光学尺分辨力 0.5μm X/Y示值误差 (4+L/200)μm 摄像机 彩色1/2"CCD摄像机 激光平面度测量 重复性3μm(选配激光位移器时) 物方视场 11.1mm~1.7mm